扫描电镜可以研究岩土组成,构造和坚固性。可用来观测宇宙尘,陨石及月岩等的形态特征,构造,以便对推断其成因和认识宁宙提供了有效资料;可以对古微生物化石形态,排列方式进行研究,对测定地质年代及地层形成古地理环境等提供数据。
扫描电镜测试的样品制备相对简单,块状样品、粉末状样品、纤维状样品等均可观察。
在SEM测试中,为了获得较高的信号强度和扫描像分辨率,扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
扫描电镜测试的样品室较大,可选用多种附件,如背散射附件、能谱附件等,对样品进行综合分析。
SEM测试中的能谱分析(EDS)可以分析样品微区的化学成分等信息,为材料科学研究提供重要数据。