SEM+EDS测试原理:
SEM:利用阴极所发射的电子束经阳极加速,由磁透镜加速后形成一束直径为几十埃到几千埃的电子束流,这束高能电子束轰击到样品表面会激发多种信息,经过分别收集,放大就能从显示屏上得到各种相应的图像
场扫描电镜对样品要求,如下:
1.样品要尽可能干燥,若样品中含有水份,水分挥发会造成仓内真空度急剧下降,导致图像漂移,有白色条纹,甚至会影响灯丝寿命;
2.热稳定性好,热稳定性差的样品往往在电子束的轰击下分解,释放气体和其他物质,污染电镜;
3.导电性好,导电性差的样品会发生荷电效应,造成图像畸变,亮点亮线,像散等;
4.不含强磁性,强磁性的样品观察一般会出现严重的像散,无法消去,磁性粉末如果粘的不牢固还可能会吸附到探头上,损害电镜
扫描电子显微镜(扫描电镜SEM):一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。