SEM+EDS分析:
放大倍数: 5~30万倍
解 析 度 : 3 nm
分析元素范围: Be(4)~U(92)
大样品尺寸: 200 mm
分析对象: 固体样品,金属、塑料和电子零件.
功能与目的: 微区成分分析
失效模式/机制分析
断口形貌观察等
扫描电镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)是一种高分辨率的电子显微镜技术,可用于对形貌和表面特征进行分析和观察。相比于传统的透射电镜,SEM不需要样本薄片,可以直接对样品进行观察,因此适用于分析各种形状和大小的样品。 SEM分析过程中,样品表面被电子束轰击后,会产生二次电子和背散射电子。这些电子会被探测器捕捉并转换为电信号,形成图像。SEM图像具有高分辨率和高对比度,可以显示出样品表面的微观结构和形貌特征
SEM+EDS分析:
高能电子束轰击样品表面,激发各种信号。可以对陶瓷、金属、粉末、塑料等样品进行形貌观察及成分分析:
SEM主要利用背散射电子(BEI)和二次电子(SEI)来成像
EDS通过特征X-RAY获取样品表面的成分信息。