来源:优尔鸿信检测技术(深圳)有限公司 时间:2024-05-13 06:30:52 [举报]
EDS: 入射电子束可停留在被观察区域上的任何位置.X射线在直径1微米的体积内产生,可对试样表面元素的分布进行质和量的分析。
扫描电镜分析(SEM+EDS)可实现金属、陶瓷、半导体、聚合物、复合材料等几乎所有固体材料的表面形貌、断口形貌、界面形貌等显微结构分析,借助EDS还可进行微区元素含量分析
扫描电镜测试的过程包括以下几个步骤:
1)样品准备:根据测试目的选择合适的样品,并进行表面处理,如清洗、干燥等。
2)安装与调试:将样品安装在扫描电镜测试设备的样品台上,并进行设备的调试和校准,以确保测试结果的准确性。
3)数据采集与处理:通过扫描电镜设备采集样品的表面形貌和微观结构图像数据,并对数据进行处理和计算,得到样品的各种参数和性能指标。
4)结果分析与评估:根据测试数据,对样品的表面形貌和微观结构进行分析和评估,包括形貌特征、尺寸分布、晶体结构等。
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