通过表面处理(例如沉积出不同组成,形态及厚度的膜层以及光刻蚀表面等等)可以有效地提高材料硬度和光学物理性能。通过扫描电镜可以对镀膜表面形貌,断口膜层形貌进行观察,并对膜厚进行测量;可以观察到光刻蚀之后试样表面形貌变化情况等等。
扫描电镜的焦深比透射电子显微镜大10倍,比光学显微镜大数百倍。由于图像景深大,因此扫描得出的电子像富有立体感,具有三维形态。相较于其他显微镜,能够提供更多的信息。
扫描电镜主要用于:观察纳米材料,材料断口的分析,直接观察原始表面,观察厚试样,观察各个区域的细节,大视场低放大倍数观察,从高到低倍的连续观察,观察生物试样,进行动态观察,从形貌获得资料等等。