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同时，SEM+EDS还可以实现多元素同时分析，提高分析效率和精度。通过结合形貌观察和元素分析的结果，可以更准确地判断材料的失效原因和失效模式。
SEM+EDS可以用于分析水体中的悬浮物、污染物等物质的微观结构和化学成分，研究其来源、扩散和生物毒性等。例如，对于水体中的重金属离子，可以通过SEM观察其形貌和分布情况，通过EDS分析其元素种类和含量，探究其对水生生物和人类健康的潜在影响。
SEM和EDS可以用于医学诊断和研究，如观察肿瘤细胞的表面形貌和内部结构，分析病变组织的元素组成，有助于诊断疾病和了解病变的发展过程。
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