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EDS可以提供元素的定性分析和定量分析，能够准确地检测材料表面的元素种类和含量。通过分析元素分布情况，可以识别化学腐蚀、应力腐蚀开裂等化学或物理作用导致的失效，进一步确定失效机制。
同时，SEM+EDS还可以实现多元素同时分析，提高分析效率和精度。通过结合形貌观察和元素分析的结果，可以更准确地判断材料的失效原因和失效模式。
SEM可以观察土壤中重金属、有机污染物的形貌和分布情况，而EDS可以分析这些物质的元素组成。这有助于了解土壤中污染物的赋存状态、形态和浓度，进而评估不同土壤修复技术的可行性和效果。
故障分析：对于飞机或其他航空器出现的故障，SEM+EDS可以用于分析故障原因。例如，当飞机出现腐蚀、疲劳或机械损伤等问题时，SEM可以观察到这些缺陷的微观形貌，而EDS可以分析缺陷部位的元素组成。这有助于确定故障的源头和原因。
质量控制：在航空航天领域，质量控制是非常重要的环节。SEM+EDS可以用于检测和识别制造过程中的缺陷和问题。例如，对于航空器的零部件，SEM可以观察到表面的微观结构和缺陷，而EDS可以分析元素分布和化学成分。这有助于确保产品的质量和安全性。
SEM和EDS可以用于医学诊断和研究，如观察肿瘤细胞的表面形貌和内部结构，分析病变组织的元素组成，有助于诊断疾病和了解病变的发展过程。
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