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三坐标测量机是一种通用性强、自动化程度高的测量系统。对一般的测量软件而言，三坐标测量机的测量过程，可分为以下几个步骤（假设测头校验与坐标系的建立已经完成）。
（１）采集特征点的坐标位置。即通过测头直接触测被测对象、读取并记录坐标值。
（２）按照“小条件”对前面测得的特征点进行计算与构建。如果是形状误差，可直接计算出误差值。
（３）如果是位置误差则按照“小条件”将特征点构建出误差评价所需的点、线、面等基本要素，并用数学的方法计算出各要素间的实际误差，对照图纸判断其是否合格。
三坐标测量仪又称三次元测量机，三坐标测量仪可根据应用选择有两种方式:手动和自动。如果您只需要检测几何量和公差都比较简单的工件，或测量各种小批量的不尽相同的工件，手动三坐标测量仪是佳选择。手动三坐标测量仪的软件也可储存和调用测量程序，从而加快了重复性测量。
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